Akonis
高スループット、インプラント プロファイルの高精度検出、組成分析、界面データを提供し、大量生産を可能にすることで、半導体製造プロセスにおける重要なギャップを埋めます。AKONIS は、製造レベルのプロセス制御とツール間のマッチングにおいて、ツール間の再現性を保証する非常に高度な自動化を提供します。
高スループット、インプラント プロファイルの高精度検出、組成分析、界面データを提供し、大量生産を可能にすることで、半導体製造プロセスにおける重要なギャップを埋めます。AKONIS は、製造レベルのプロセス制御とツール間のマッチングにおいて、ツール間の再現性を保証する非常に高度な自動化を提供します。