SC Ultra IMS Wf
EXLIE（Extremely Low Impact Energy）を利用して先端CMOS半導体のR&D、あるいは、ニアラインでの評価にご利用できます。IMS Wfは、300mmウエハに対応しています。
EXLIE（Extremely Low Impact Energy）を利用して先端CMOS半導体のR&D、あるいは、ニアラインでの評価にご利用できます。IMS Wfは、300mmウエハに対応しています。