NanoSIMS 50 50L
カメカ独自のイオンガン／2次イオン引き出しの同軸レンズによりDCビームで50nm以下の空間分解能を有するSIMSです。高質量分解能、7マス同時検出等々、の特長があります。
カメカ独自のイオンガン／2次イオン引き出しの同軸レンズによりDCビームで50nm以下の空間分解能を有するSIMSです。高質量分解能、7マス同時検出等々、の特長があります。