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搭載装置の重量
定盤上要求振動レベル VCカーブで５段階低減除振ユニットの高さ 275mm
定盤上要求振動レベル VCカーブで３段階低減除振ユニットの高さ 275mm
定盤上要求振動レベル VCカーブで３段階低減除振ユニットの高さ 157mm
