SIMS 4550

質量分析計に四重極マスフィルターを利用したSIMSです。引出し電界が小さく、試料周りの自由度があり、1次イオンの入射角度が可変できます。さらに、FLIG™ ( Floating Low-energy Ion Gun)技術により、深さ分解能の良い分析が可能です。