STACIS® IIIは、柔軟性のある高度なアクティブ除振装置です。最先端の慣性振動センサー、非常に高度な制御アルゴリズム、最先端のピエゾ式アクチュエータを装備したSTACISは、継続的に床振動を測定し、非常に高度なピエゾ式アクチュエータを拡張、伸縮させることで、床の動きをフィルタリングして取り除き、リアルタイムで振動を打ち消します。
STACISは当初、高度な半導体工場で精密マイクロリソグラフィー、計測機器、検査装置を除振するために設計されましたが、現在では、半導体製造工場、故障解析ラボ、ナノテクノロジー研究、ナノファブリケーション施設、材料研究を含みますがこれに限定されない、ノイズの多い環境において最もセンシティブな機器の業界標準ソリューションです。
STACIS IIIには、新しく、改良されたデジタルコントローラであるDC-2020が含まれています。新しいデュアルコアプロセッサーとイーサネットと、フロントとリアパネルにUSB直列ポートを装備したこの最先端の制御システムは、ユーザーにモダンで使いやすいグラフィカルユーザーインターフェース（GUI）を提供します。世界中で何百もの設置に成功しており、STACISは振動に非常にセンシティブな機器に理想的な除振装置です。
性能仕様
| アクティブな自由度 | 6 |
| アクティブな帯域幅 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| パッシブ固有周波数 | 18 Hz 垂直および水平 |
| 有効アクティブ共振周波数 | 0.5 Hz |
| 1 Hzで除振 | 40％～70％ |
| ≥2 Hzで除振 | ≥90% |
| 10ポンド（4.5kg）のステップ入力（10：1の減少）後の整定時間 | 0.3秒 |
| 内部ノイズ | <0.1 nm RMSd> |
| 除振装置あたりの搭載荷重範囲 | 低い搭載荷重：400～1,100 ポンド (182～500 kg) 中程度の搭載荷重：900～2,100 ポンド (410～955 kg) 高い搭載荷重：1,900～4,500 ポンド (864～2,045 kg) |
| 剛性（1,000 ポンド / 454 kgの質量、中間の搭載可能重量除振装置） | 40,000 ポンド/インチ（73×105 N / m） |
| 除振装置から最大4 インチ（102 mm）での放射磁場 | <0.02 μG broadband RMSd> |
除振装置の設計、寸法、環境要件、ユーティリティ要件
| 環境基準と安全 | CEおよびRoHS準拠 |
| アクティブ除振素子 | 最小で3300ポンド（1500 kg）の搭載可能重量を持つピエゾ式アクチュエータは、最大800VDCの出力を持つ高電圧アンプから信号を受信します。垂直アクチュエータは、除振される搭載装置を支持します。 |
| パッシブ除振素子 | 単一の剛性等方性エラストマー（圧縮空気の供給不要） |
| 振動センサー素子 | 除振装置の下の床振動を測定し、振動運動の速度に比例した電圧を供給する下向きジオフォン型慣性センサー |
| アクティブフィードバック制御ループ | 隔離された表面を支持するばねの下で、床振動を測定し、処理し、そして減衰される |
| 除振装置の寸法（幅x深x高） | 11.75 x 12.5 x 10.8 インチ 300 x 320 x 275 mm |
| 除振装置重量 | 75 lb （34 kg） |
| 動作温度 | 50～90°F 10～32°C |
| 保管温度 | -40～130°F -40～55°C |
| 湿度 | 80% at 68 deg F (20 deg. C), Max dewpoint: 18 deg C |
| システムの電源要件 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC、 <600 W CE準拠 |
| 床振動の変位 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| システムあたりの除振装置数 | 最低3つ |
| オプション | ラミネート加工されたステンレススチール定盤、フレーム、ライザー、レベリング装置、地震拘束器具、リフトフッド |
DC-2020コントローラーの仕様
| 製品寸法（幅x深x高） | 19 x 8.5 x 1.75 インチ 483 x 216 x 45 mm |
| 重量 | 6.3 lb （2.9 kg） |
| プロセッサー | 150/75 MHz デュアルコア |
| サンプリングレート | 10 kHz |
| アナログ出力 | 16チャネル |
| アナログ入力 | 16チャネル |
| ステータスライト | 単一LED |
| フロントパネルポート | 1x シリアルUSB 2.0 1x シリアルMicroUSB 1x イーサネット RJ-45 2x BNC |
| リアパネルポート | 1x シリアルUSB 2.0 1x イーサネット RJ-45 1x RS-232 DB-9 旧バージョンのSTACIS 2100除振装置用の旧バージョンのシリアルポート |
| ユーザーインターフェース | フロントパネル LCD ディスプレイ HyperTerminal のキャラクターメニュー Microsoft Windows用拡張GUI 内蔵型イーサネットGUI |
